Çѱ¹µðÁöÅдº½º ±èÁ¾°© ±âÀÚ = »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿Í ºÎ»ê½Ã´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷, ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö µî ¹Ì·¡ ¼ö¼Û±â±â ¹× ¿¡³ÊÁö»ê¾÷ÀÇ ÇٽɺоßÀÎ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼(Àü·Â¼ÒÀÚ)¸¦ ¹Ì·¡ ½Å¼ºÀ嵿·Â»ê¾÷À¸·Î À°¼ºÇϱâ À§ÇØ ¡®Á¦1ȸ ¹Ì·¡±â¼úÆ÷·³¡¯À» ¿À´Â 27ÀÏ ¿ÀÈÄ 2½Ã ºÎ»ê¹®ÈÄÜÅÙÃ÷ÄÞÇ÷º½º ÄÁÆÛ·±½ºÈ¦(3Ãþ)¿¡¼ °³ÃÖÇÑ´Ù.
À̹ø Çà»ç´Â ¼º´¼ö ºÎ»ê½ÃÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ, À±»óÁ÷ ±¹È¸ÀÇ¿ø ´ç¼±ÀÎ, »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ ¹Ú¿øÁÖ »ê¾÷Á¤Ã¥½ÇÀå, ¢ß¾ÆÀÌ¿¡ÀÌ ´ëÇ¥ °â Çѱ¹Àü·Â¼ÒÀÚ»ê¾÷ÇùȸÀåÀÎ ±èµ¿Áø ȸÀå, ¹Îö±¸ ºÎ»ê°úÇбâ¼ú±âȹÆò°¡¿øÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã±â¾÷, ´ëÇÐ, ¿¬±¸±â°ü °ü°èÀÚ 100¿© ¸íÀÌ Âü¼®ÇÑ´Ù.
À̹ø¿¡ °³ÃֵǴ ¡®Á¦1ȸ ¹Ì·¡±â¼úÆ÷·³¡¯Àº (»ç)Çѱ¹Àü·Â¼ÒÀÚ»ê¾÷Çùȸ°¡ Áö³ 2¿ù »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ·ÎºÎÅÍ ÇùȸÀΰ¡¸¦ ¹Þ¾Æ ¾ö±Ãµ¿ ºÎ»êÅ×Å©³ëÆÄÅ©¿¡ »ç¹«½ÇÀ» °³¼ÒÇÏ°í º»°ÝÀûÀ¸·Î È°µ¿À» Àü°³ÇÏ¸é¼ ¸¶·ÃÇÑ ÀÚ¸®ÀÌ´Ù. Æ÷·³À» ÅëÇØ Àü·Â¼ÒÀÚ ¹Ì·¡±â¼úÀÎ SiC ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ Áö¿øÁ¤Ã¥, ±â¼úÇöȲ°ú °³¹ßÀü·«À» ¼Ò°³ÇÏ°í °ü·Ã¾÷°èÀÇ Á¤º¸°øÀ¯¿Í SiC »ó¿ëÈÀÇ ±â¼ú¹ßÀüÀ» ¸ð»öÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.
º» Çà»ç´Â SiC ±â¼úÀÇ »ó¿ëÈ Àü·«À» ÁÖÁ¦·Î ±¹°¡ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ À°¼ºÁ¤Ã¥, ¹Ì·¡ÀÚµ¿Â÷¿Í SiC ¹ÝµµÃ¼, ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ±â¼ú ÇöȲ°ú »ê¾÷µ¿Çâ, SiC¹ÝµµÃ¼ Àç·á±â¼ú ÇöȲ ¹× Àü¸Á µî 4°³ ºÐ¾ß·Î ÁÖÁ¦¹ßÇ¥¸¦ ÇÏ°í °ü·Ã Àü¹®°¡µé·Î ±¸¼ºµÈ ÆгΠµéÀÇ ¿¶í ÅäÀÇ¿Í ÁúÀÇÀÀ´äÀ» ÅëÇØ ´Ù¾çÇÑ ÀÇ°ßÀ» ¼ö·ÅÇÏ¿© ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ À°¼º Àü·«À» ¸¶·ÃÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿Í ½Ã´Â ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀå¼¼¿¡ ÀÖ´Â ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À°¼ºÀ» ÅëÇØ ÀÏÀÚ¸® âÃâ°ú ¹Ì·¡ÀÇ ±¹°¡°æÀï·ÂÀ» È®º¸Çϱâ À§ÇØ ¡®½Å»ê¾÷âÃâ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ »ó¿ëÈ »ç¾÷(2,092¾ï ¿ø, 2017³â-2023³â)¡¯À» ÃßÁøÁß¿¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ »ç¾÷Àº 2015³â 12¿ù 8ÀÏ ¿¹ºñŸ´ç¼ºÁ¶»ç ´ë»óÀ¸·Î ¼±Á¤µÆÀ¸¸ç, ¿ÃÇØ 1¿ùºÎÅÍ Çѱ¹°úÇбâ¼ú±âȹÆò°¡¿ø(KISTEP)À¸·ÎºÎÅÍ ¿¹ºñŸ´ç¼ºÁ¶»ç¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù
½Å»ê¾÷ âÃâ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ »ó¿ëÈ»ç¾÷¡¯Àº ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â¾÷, ¿¬±¸¼Ò, ÇаèÀÇ ÀÇ°ß¼ö·ÅÀ» ÅëÇØ ¼±Á¤µÈ SiC, GaN µî ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â 7°³ °úÁ¦ÀÇ ¿¬±¸°³¹ß»ç¾÷°ú ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷»ýÅ°踦 ¿Ï¼ºÇϱâ À§ÇÑ ±â¹Ý½Ã¼³±¸Ãà»ç¾÷À¸·Î ÀÌ·ïÁ® ÀÖ´Ù. ±â¹Ý½Ã¼³±¸Ãà»ç¾÷À» ÅëÇØ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷È °úÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß, ½ÃÁ¦Ç°Á¦ÀÛ, ½ÃÇè»ý»ê, ½Å·Ú¼ºÆò°¡ ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ±â¼ú Áý¾àÇü °¼Ò, Áß°ß ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷À» À°¼ºÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¹Ì±¹, ÀϺ» µî ¼±Áø±¹µéÀº ÀÌ¹Ì SiC µî ÈÇÕ¹° ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀ强À» ¿¹°ßÇÏ°í Á¤ºÎÂ÷¿ø¿¡¼ °øÁ¤±â¹Ý½Ã¼³(Fab)¿¡ ¿¹»êÀ» ÅõÀÔÇØ »ê¾÷°æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇØ ³ª°¡°í ÀÖ´Â ¸¸Å, ¿ì¸® Á¤ºÎÀÇ ±â¹Ý½Ã¼³±¸Ãà¿¡ ´ëÇÑ ºü¸¥ ´ëÀÀÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù.
½Ã´Â 2015³â 6¿ù¿¡ ¼öµµ±Ç¼ÒÀç ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã±â¾÷ 21°³ »ç¿Í µ¿³²±Ç ¹æ»ç¼± ÀÇ¡¤°úÇлê¾÷´ÜÁö¿¡ ÀÔÁÖÇù¾àÀ» ü°áÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ °ü·Ã±â¾÷ ¹× ¹Î°£¿¬±¸¼ÒÀÇ Ãß°¡ À¯Ä¡¸¦ ÅëÇØ ºÎ»ê±âÀå Àϴ븦 ¼¼°èÀûÀÎ ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ·Î À°¼ºÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ºÎ»êÀ» Æ÷ÇÔÇÑ µ¿³²±ÇÀº ÀÚµ¿Â÷, °¡Àü, ÁßÀü±â±â, ¿¡³ÊÁö±â±â µî ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä»ê¾÷ÀÌ ¹ÐÁýµÇ¾î ÀÖ¾î ÆÄ¿ö¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã±â¾÷À» Ŭ·¯½ºÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÃÖÀûÀÇ ÀÔÁö¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
|