ÀÎõ½Ã(¼Û¿µ±æ ½ÃÀå)´Â 5ÀÏ ÀϺ» TOK»ç°¡ ÃâÀÚÇÑ Æ¼¿ÀÄÉÀÌ÷´ÜÀç·á(ÁÖ)»ç¿Í ¼ÛµµÁö±¸ ÷´Ü»ê¾÷Ŭ·¯½ºÅÍÒ® Áö½Ä±â¹Ý Á¦Á¶¿ëÁö 28,308.1§³ (ÀÎõ ¿¬¼ö±¸ ¼Ûµµµ¿ 215-3) ºÎÁö¿¡ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD »ý»ê¿ë ÷´ÜÀç·á ¿¬±¸¼Ò ¹× »ý»ê½Ã¼³ °Ç¸³À» À§ÇÑ ÅõÀÚÇù¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
Ƽ¿ÀÄÉÀÌ÷´ÜÀç·á(ÁÖ)»ç´Â ÀϺ» Tokyo Ohka Kogyo(ÀÌÇÏTOK¡¯¶ó°í ÇÔ)»ç(90%)°¡ Çѱ¹ »ï¼º¹°»ê(10%)ÀÌ ÃâÀÚ¿¹Á¤À¸·Î Áö³ 8¿ù 17ÀÏ ¼³¸³µÈ ¿Ü±¹ÀÎÅõÀÚ±â¾÷ÀÓÀÌ´Ù
ÀϺ» TOK»ç´Â ¹ÝµµÃ¼, ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡, TFT-LCD µîÀÇ Á¦Á¶°øÁ¤ñé Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Á¦) µî ÃÖ÷´Ü ÈÇоàÇ°À» »ý»êÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î µ¿°æ 1ºÎ Áõ½Ã¿¡ »óÀåµÈ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Á¦) ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¼±µÎÁÖÀÚÀÎ ÀϺ» TOK»ç´Â ÀÚ±¹¿¡¼¸¸ »ý»êÇÏ´ø ÷´ÜÁ¦Á¶½Ã¼³À» 2011³â 3¿ù ÀϺ»¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ ÁöÁø µî ÀÚ¿¬ÀçÇØ·Î ÀÎÇÑ Á¦Ç° °ø±ÞÁß´Ü µîÀÇ ÇÇÇظ¦ ¹æÁöÇÏ°íÀÚ ¼¼°èÀûÀ¸·Î °¡Àå Áß¿äÇÑ ½ÃÀåÀÎ Çѱ¹¿¡ KrF/ArFÀ̸ÓÀü Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Back-up »ý»ê½Ã¼³ È®ÃæÀ» ÃßÁøÇÏ°Ô µÇ¾ú°í, ±¹³» ÁÖ¿ä °í°´»ç¿Í 20³ª³ë ÀÌÈÄÀÇ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß µî µ¿¹Ý ¼ºÀåÇϱâ À§ÇØ Çѱ¹¿¡ ÁøÃâÇß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ¾²ÀÌ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â KrF, ArFÀ̸ÓÀü(Immersion) µîÀÌ ÀÖÀ½. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Á¦)´Â ºûÀÇ Æ¯Á¤ ÆÄÀå¿¡ ¹Î°¨ÇÏ°Ô ¹ÝÀÀÇÏ¿© ¹°¼ºÀÌ ¹Ù²î´Â ¹°Áú·Î, ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ Çü¼ºÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤ÀÎ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â °¨±¤¼º ¹°ÁúÀÌ´Ù. ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷¿¡¼ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â »ý»ê ¿ø°¡¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßµµ ³ô¾Æ ±â¼ú, »ê¾÷ÀûÀÎ Áß¿äµµ°¡ ¸Å¿ì ³ô´Ù.
ÀÌ¿¡, Ƽ¿ÀÄÉÀÌ÷´ÜÀç·á(ÁÖ)»ç´Â ÀϺ» TOK»ç·ÎºÎÅÍ ¹ÌÈ 1¾ï 5õ¸¸ºÒ ¿ÜÀÚµµÀÔÇÏ¿© ¿¬¸éÀû 19,920§³±Ô¸ðÀÇ ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD¿ë ÷´ÜÀç·á ¿¬±¸¼Ò ¹× »ý»ê½Ã¼³À» °Ç¸³ÇÏ¿© 2013 ÇϹݱâºÎÅÍ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Ƽ¿ÀÄÉÀÌ÷´ÜÀç·á(ÁÖ)»çÀÇ ÀÌ¿Í»çÅ°ÄÚºÐ(Iwasaki Koubun) ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ¡°¹ÝµµÃ¼¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¾ç»ê°ú µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ½ÅÁ¦Ç° °³¹ß¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿¬±¸ Àη µî ½Å±ÔÀη 200¿©¸í ä¿ëÇÏ°í, °ü·Ã Á¦Ç° ±â¼úÀÌÀüÀ» À§ÇØ ÀϺ»ÀÎ ±â¼úÀÚ 20¿©¸í ÆÄ°ßÇÏ¿©, °í°´»çÀÇ ¿ä±¸»çÇ×À» ½Å¼ÓÈ÷ ´ëÀÀÇÏ¿© 2015³âºÎÅÍ ¿¬°£ 1,000¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â´ëÇÑ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
ÅõÀÚÇù¾à ü°á½Ä¿¡ Âü¼®ÇÑ ÀϺ» TOK»çÀÇ ¾ÆÄíÃ÷ÀÌÄí¿À(Akutsu Ikuo) ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â TOKÀÇ ÃÖ÷´Ü Àç·áÀÇ °³¹ß ¹× »ý»êÀ» ÇØ¿Ü°øÀåÀ¸·Î´Â óÀ½À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ Çѱ¹¿¡¼ °Ç¸³ÇÏ°Ô µÇ¾î ±â»Ú´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ´õ¿í Çѱ¹ °í°´µéÀÌ ¿øÇÏ´Â °í¼º´É, °íÇ°Áú Á¦Ç°À» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ¿© °í°´ÀÇ ±â´ë¿¡ ºÎÀÀÇÏ°í, ÀÎõÁö¿ª¿¡¼ ÃÖ´ëÇÑ °í¿ëâÃâÇÏ¿© ¹Ì·ÂÀ̳ª¸¶ Áö¿ª°æÁ¦¿¡ µµ¿òÀÌ µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¼Û¿µ±æ ½ÃÀåÀº ÀϺ» TOK»ç´Â ÀÎõ°æÁ¦ÀÚÀ¯±¸¿ª³» ÷´Ü»ê¾÷ °ü·Ã ´ë±Ô¸ð·Î Á÷Á¢ÅõÀÚÇÑ Ã¹ ¹ø° ÀϺ» ±â¾÷À̸ç, ±âÁ¸¿¡ ¼öÀÔ¿¡¸¸ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø ¹ÝµµÃ¼ ¹× ¹Ú¸·Çü LCD¸¦ »ý»êÇϴµ¥ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ÃÖ÷´Ü ÷´ÜÀç·áÀÇ ±â¼úÀÌÀüÀ¸·Î ±¹»êȸ¦ ÅëÇÑ ¼öÀÔ´ëüȿ°ú Áõ´ë¿Í ±¹³»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °ü·Ã »ê¾÷ÀÇ ±¹Á¦°æÀï·Â Çâ»ó¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ̶ó°í È®½ÅÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ ÀÎõ½Ã´Â ÀϺ»ÀÇ ±â¼úÁý¾àÀû »ê¾÷ÀÎ ¼ÒÀ硤ºÎÇ° °ü·Ã ±â¾÷µéÀ» ´ë»óÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ÅõÀÚÀ¯Ä¡È°µ¿À» Àü°³ÇÒ °èȹÀÓÀ» ¹àÇû´Ù.
|