SKÇÏÀ̴нº ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¹Ú¼º¿í)´Â ÀϺ»ÀÇ µµ½Ã¹Ù¿Í ³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ® ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(Nano Imprint Lithography, ÀÌÇÏ ¡®NIL¡¯) ±â¼úÀÇ °øµ¿ °³¹ß¿¡ ³ª¼±´Ù°í 19ÀÏ ¹àÇû´Ù.
NIL ±â¼úÀº ¸Þ¸ð¸® °øÁ¤ÀÌ ´õ¿í ¹Ì¼¼ÈµÇ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇϴµ¥ ÀÖ¾î ÀûÇÕÇÑ Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤±â¼ú·Î Æò°¡ ¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¸·´ëÇÑ ÅõÀÚ°¡ ¼±ÇàµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â ±âÁ¸ °øÁ¤±â¼ú°ú ºñ±³ÇØ °æÁ¦ÀûÀÎ ¾ç»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù´Â ÀåÁ¡µµ °®°í ÀÖ´Ù. ¾÷°è´Â °øÁ¤ ¹Ì¼¼ÈÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ EUV(Extreme Ultraviolet) È°¿ë µî ´Ù¾çÇÑ ³ë·ÂÀ» ÇØ¿À°í ÀÖ¾úÀ¸¸ç, NIL ±â¼úµµ ÇÑ°è ±Øº¹À» À§ÇÑ ¹æ¾È Áß Çϳª·Î °³¹ßµÇ¾î ¿Ô´Ù.
¾ç»ç´Â À̹ø °øµ¿°³¹ßÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë °øÁ¤±â¼úÀÎ NIL °³¹ßÀÇ ¼º°ø °¡´É¼ºÀ» ³ôÀÌ°í, Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ÅëÇÑ ÀÌ ±â¼úÀÇ »ó¿ëȸ¦ È®´ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Á¦Ç° ¾ç»ê½Ã ¿ø°¡°æÀï·Âµµ Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ°Ô µÇ´Â È¿°úµµ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
ÇÑÆí ´õ¿í È®°íÇØÁø ¾ç»çÀÇ Çù·Â°ü°è¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î, Áö³ 3¿ù µµ½Ã¹Ù°¡ SKÇÏÀ̴нº¸¦ »ó´ë·Î Á¦±âÇÑ ¾à 1.1Á¶¿ø ¼ÕÇعè»ó ±Ô¸ðÀÇ ¹Î»ç¼Ò¼Ûµµ ¸ðµÎ ÃëÇ쵃 ¿¹Á¤À̸ç, ÇÕÀDZݾ×Àº ¹ÌÈ 2¾ï7õ8¹é¸¸ ´Þ·¯ÀÌ´Ù. µµ½Ã¹Ù´Â ÀϺ» °ËÂûÀÌ Àü SKÇÏÀ̴нºÀÇ Á÷¿øÀÎ ½º±â´Ù¸¦ ºÎÁ¤°æÀï¹æÁö¹ý À§¹Ý ÇøÀÇ·Î ±â¼ÒÇÏÀÚ, SKÇÏÀ̴нº°¡ µµ½Ã¹ÙÀÇ Á¤º¸¸¦ È°¿ëÇß´Ù¸ç ¹Î»ç¼Ò¼ÛÀ» Á¦±âÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ ¾ç»çÀÇ ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ ƯÇã »óÈ£ ¶óÀ̼±½º ¹× Á¦Ç°ÀÇ °ø±Þ °è¾àµµ ¿¬ÀåÇØ Æ¯Çã ºÐÀïÀ¸·Î ÀÎÇÑ »ç¾÷ ºÒÈ®½Ç¼ºÀ» ¿ÏÈÇßÀ¸¸ç, ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ÆǸŠ±â¹ÝÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
À̹ø µµ½Ã¹Ù¿ÍÀÇ Àü¹æÀ§Àû Çù·Â È®´ë¸¦ ÅëÇØ SKÇÏÀ̴нº´Â ±â¼ú°æÀï·ÂÀ» ´õ¿í °ÈÇÏ°í ÀáÀçÀûÀÎ °æ¿µÀÇ ºÒÈ®½Ç¼ºÀ» ÇؼÒÇÏ°Ô µÆ´Ù. ƯÈ÷ °øÁ¤ ¹Ì¼¼ÈÀÇ ÇÑ°è¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇÑ »õ·Î¿î ±â¼úÀ» È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÅ ¾ç»ç°¡ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼±µÎ ¾÷ü·ÎÀÇ ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í °ÈÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °øµ¿À¸·Î °³¹ß ÁßÀÎ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß¿¡µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ¸ÅÁøÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â µµ½Ã¹Ù¿Í ¿À·£ Çù·Â °ü°è¸¦ À¯ÁöÇØ¿Ô´Ù. 2007³â¿¡´Â ƯÇã »óÈ£ ¶óÀ̼±½º °è¾àÀ» ü°áÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç, 2011³âºÎÅÍ´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸®ÀÎ ¡®STT-M·¥¡¯ÀÇ °øµ¿°³¹ßÀ» ÁøÇàÇØ ¿À°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ µµ½Ã¹Ù ¿Ü¿¡µµ IBM, HP¿Íµµ ¡®PC·¥¡¯°ú ¡®Re·¥¡¯À» °øµ¿ °³¹ßÇÏ´Â µî ´Ù¾çÇÑ ¾÷üµé°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¹Ì·¡ »ç¾÷À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î È®ÃæÇÏ°í ÀÖ´Ù.
|